什么是等離子清洗機(jī)

　　等離子清洗機(jī)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合。

　　等離子清洗機(jī)的種類

　　等離子清洗機(jī)根據(jù)使用環(huán)境的不同，主要可以分為以下幾款類型：噴射型等離子清洗機(jī)、旋轉(zhuǎn)型等離子清洗機(jī)、真空等離子清洗機(jī)、在線式等離子清洗機(jī)、常壓等離子清洗機(jī)、大氣旋轉(zhuǎn)噴頭等離子清洗機(jī)、智能集成等離子處理系統(tǒng)等。

　　等離子清洗機(jī)的作用

　　金屬器材表面附著有油脂、油污等有機(jī)物和氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機(jī)處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗可以除去器材表面細(xì)小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗后，不會(huì)在器材表面留下殘余物。

　　等離子清洗機(jī)的原理

　　在經(jīng)過低溫等離子體表面處理后，材料表面會(huì)發(fā)生多種物理、化學(xué)變化?？捎糜谇宄蓟瘹漕愇畚?，如油脂，輔助添加劑等，或產(chǎn)生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧極性基團(tuán)(羥基、羧基)，通過等離子體處理得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

　　在同樣效果下，應(yīng)用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他機(jī)器、化學(xué)處理等強(qiáng)烈作用成份來增加粘合性。

　　等離子表面清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)

　　1、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率;

　　2、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題;

　　3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，在等離子清潔后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于綠色環(huán)保型清洗方法;

　　4、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果相對(duì)于傳統(tǒng)氟利昂清洗的效果會(huì)更好;

　　5、等離子清洗機(jī)可以有效提高清洗效率，整個(gè)清洗流程在短短的幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn);

　　6、等離子清洗需要控制的真空度大約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到，因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;

　　7、使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生;

　　8、等離子體清洗機(jī)可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)，而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗;

　　9、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

　　等離子表面清洗機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域

　　1、半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè);

　　2、LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造;

　　3、等離子清洗機(jī)生物醫(yī)療材料表面改性修飾;

　　4、精密儀器、機(jī)械及電氣制造;

　　5、等離子處理機(jī)聚合物薄膜、紡織纖維改性處理;

　　6、APR大氣等離子清洗機(jī)手機(jī)觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化;

　　7、等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產(chǎn)業(yè)。

　　8、適用于實(shí)驗(yàn)室科研、小批量生產(chǎn)，小部件納米清洗、表面活化、表面改性或PCB制造、半導(dǎo)體LED制造、TSPOLED設(shè)備、真空等離子噴涂系統(tǒng)等工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。